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宣讲内容简述
本报告主要讲述,深度剖析集成电路制造产业的关键环节,梳理我国在本领域所需要攻关的技术难题,分享本研究团队在攻克“卡脖子”技术领域所做的研究布局,同时分享本团队在攻克世界难题问题上的方法与思路。
个人简介
李星辉,男,1984年出生。2008年本科毕业于武汉大学,2011年硕士毕业于西安交通大学,2014年博士毕业于日本东北大学(Tohoku University)纳米机械学专业。2009-2010在日本东京工业大学(Tokyo Institute of Technology)做联合培养。2012年12月至2013年1月,在韩国科学技术院(KAIST)做访问学者。2014年11月至2016年12月在清华大学做博士后研究,2017年10月入职清华大学深圳国际研究生院,先后任讲师,助理教授,副教授。近五年来,面向国家制造业转型升级的战略需求,围绕先进制造中精密化和智能化的重要目标,开展了精密测量技术与仪器、智能生产技术与装备两个领域的研究,搭建了纳米光栅干涉测量、先进光栅与光刻制造、微小型光谱仪与光谱共焦、高精度高动态结构光三维重建、人工智能自动缺陷检测、自主移动定位导航、超声自动化检测等八个科研方向和平台。在上述领域,发表学术论文100余篇,申请发明专利25项,获得国家自然科学基金、省重点基金、博士后特别资助、新型研发机构平台建设等各类科研项目合计1700余万元,培养博士后、博士生、硕士生20余名。